石英舟的主要用途你了解吗

 

　　石英舟是高纯熔融石英（SiO₂二氧化硅）做成的舟形承载治具，外形像小船，带有一排卡槽，用来竖直插放硅片 / 晶圆，送入高温炉内做热处理，属于半导体、光伏行业的核心精密耗材，石英仪器今天就来说说这个问题。
　　核心材质与特性
　　原料：高纯石英玻璃，半导体高端款纯度可达 6N（99.9999%），金属杂质极低，防止污染硅片
　　长期使用温度：≤1200℃，软化点约 1700℃
　　热膨胀系数极低，耐急冷急热，不容易炸裂
　　化学惰性强：耐大多数强酸，不耐氢氟酸、300℃以上热磷酸
　　透明、绝缘，高温下极少析出杂质，保证芯片 / 电池片良率
　　主要用途
　　1. 半导体芯片：扩散、热氧化、退火、LPCVD 低压化学气相沉积，承载晶圆在管式炉内高温加工
　　2. 光伏电池：硅片磷扩散、硼扩散工艺，太阳能电池产线大量使用
　　3. 实验室：管式炉、马弗炉，盛放样品做高温烧结、材料合成
　　4. 光电、MEMS 器件等高温洁净工艺
　　结构特点
　　常见 U 型、悬臂式，卡槽可以批量固定多片硅片（25 片、50 片、100 片规格），保证每片受热、进气均匀；表面精密抛光，避免划伤晶圆。
　　简单区分：石英舟 vs 石墨舟
　　石英舟：高纯、洁净、透光，多用于氧化、扩散、退火，1200℃以内；缺点：长期高温会析晶，需要定期酸洗维护
　　石墨舟：耐高温强度更高，不透光，多用于 PECVD 镀膜、烧结；杂质风险更高，需要做涂层保护